完結感言

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其中的關鍵技術光源，深紫外線使用的是準分子鐳射，跟下一代極紫外線光源關聯很少！

而且準分子鐳射技術應用很廣泛，此項技術不止美國一家掌握，想繞過美國相對簡單，相比之下極紫外線光源技術就比較妖孽了。

後世阿斯麥的極紫外線光刻機，使用的光源是採用鐳射持續轟擊錫滴產生的。

由於錫滴發光效率很低，極紫外線又只佔所有光線的百分之幾，因此必須使用足夠強的鐳射轟擊錫滴，才能發出足夠的光——至少得是3萬瓦以上，而且還得持續不停的轟擊。

大功率鐳射問題，準確命中錫滴……每一項都是要命的技術。

在鏡頭上，極紫外線也與深紫外線有很大不同，極紫外線非常容易被吸收，深紫外線階段使用的透鏡式鏡頭已經不能使用了，因為鏡頭材料直接會把極紫外線吸收掉，必須使用反射式鏡頭。

由於極紫外線的波長只有十幾個奈米，鏡頭奈米級精度已經不夠用了。

極紫外線用的反射式鏡頭，精度必須達到皮米級。

必須要用等離子拋光裝置，這東西中國沒有，國外也買不來，只能自己造。

鏡頭上還要鍍膜，把極紫外光以外的其他光線，透過鍍膜吸收掉。

這種規格的鍍膜機，也買不來，楊東昇也得自己造。

這些還不算完，由於極紫外線非常容易被吸收，即便空氣也會吸收極紫外線，所以整個工作環境必須保持高度真空。

光刻機內部必須先使用普通真空泵抽一遍，再用分子真空泵抽一遍，這還不夠，必須還得用吸附式方法，再抽一遍。

楊東昇敢把還在研製中的技術，拿給他們看的原因就是光刻機的整體構造，其實沒什麼秘密可言，考驗的就是實打實的工業實力。

這其實是最討厭的地方！

中國進口了上千臺航空發動機，但是對自身航空發動機技術的提升，幾乎沒有任何作用，就是同樣的原因。

很多人以中國做不出極紫外線光刻機嘲笑中國科技，中國確實做不出來，但是美國人獨自也做不出來極紫外線光刻機。

荷蘭阿斯麥的極紫外線光刻機使用的是美國的光源，德國的鏡頭，瑞典的軸承，法國的閥件……可以說集合了西方所有發達國家先進技術於一身。

看似沒有秘密，其實到處都是秘密！